D I S S E R T A T I O N


Simulation and Inverse Modeling
of Semiconductor
Manufacturing Processes


ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften


eingereicht an der Technischen Universität Wien,
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, von


CLEMENS HEITZINGER


Luftbadgasse 11
A-1060 Wien
Matrikelnummer e9425899
geboren am 9. Dezember 1974 in Linz


Wien, im November 2002