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D I S S E R T A T I O N


Dreidimensionale Finite Elemente Simulation von Verdrahtungsstrukturen auf Integrierten Schaltungen


ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften
eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik
von

Rainer Sabelka


Gudrunstrasse 137/5/29
Wien XI.

Matrikelnummer 8825514
geboren am 1. März 1969 in Wien


Wien, im Februar 2001



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R. Sabelka: Dreidimensionale Finite Elemente Simulation von Verdrahtungsstrukturen auf Integrierten Schaltungen