D I S S E R T A T I O N

Simulation der Ionen-Implantation

ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften
eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik

von

Hannes Stippel

Ferd.-Porschering 1/I/6/20
A-2700 Wr. Neustadt
Matr.-Nr. 8525109
geboren am 10. März 1966 in Wien

Wien, im Oktober 1993