Technische Universität Wien

Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

Institut für Mikroelektronik

Characterization of electrically active defects at III–N/dielectric interfaces

Dissertation ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
einer Doktorin der technischen Wissenschaften

von

Roberta Stradiotto

Matrikelnummer: 1327715

unter der Anleitung von

Prof. Tibor Grasser

Dr. Gregor Pobegen

Villach, November 2016

Technische Universität Wien

Faculty of Electrical Engineering and Information Technology

Institute for Microelectronics

Characterization of electrically active defects at III–N/dielectric interfaces

Dissertation submitted in partial fulfillment of the requirements for the degree
of Doctor of Philosophy in Engineering Sciences

by

Roberta Stradiotto

in collaboration with

KAI GmbH - Kompetenzzentrum für Automobil- und Industrieelektronik in Villach, Austria

Infineon Technologies AG in Villach, Austria

under the supervision of

Prof. Tibor Grasser

Dr. Gregor Pobegen

Villach, November 2016