Die Entwicklungsumgebung VISTA (Viennese Integrated System for Technology CAD Applications) [44, 56, 100] gewährleistet den Datenaustausch zwischen verschiedenen Simulations- und Visualisierungswerkzeugen und erlaubt so die Analyse von Bauelementen und den Entwurf integrierter Schaltungen von der Prozeßsimulation über die Bauelementsimulation bis hin zur Schaltungssimulation. VISTA enthält auch Materialdatenbanken, die allen Simulationswerkzeugen zur Verfügung stehen, sowie Programme zur Visualisierung der Simulationsergebnisse in zwei- und dreidimensionaler Darstellung und eventuellem direkten Vergleich mit Meßergebnissen:
Für einen effizienten Datenaustausch wurde das erstmals von DUVALL [41] vorgeschlagene PIF-Format (Profile Interchange Format) weiterentwickelt [44, 56]. Das Eingabe-PIF-File enthält neben der Geometrie des Bauelements auch alle Materialeigenschaften, Dotierungsprofile und andere Attribute, wie z.B. Unterscheidungsmerkmale von Halbleiter- und Kontaktelementen. Das Eingabe-PIF-File kann entweder in einem konventionellen Editor oder graphisch mit Hilfe eines PIF-Editors erstellt werden, oder stammt von einer vorhergehenden Prozeßsimulation. Nach der Verarbeitung des Eingabe-PIF-Files erstellt der Simulator ein Ausgabe-PIF-File, das alle Simulationsergebnisse - Ströme, Feldverteilungen, Potentiale, Ladungsträgerverteilungen, etc. - enthält. Das Ausgabe-PIF-File kann anschließend von einem Visualisierungsprogramm dargestellt werden.