Um den sich schnell ändernden Anforderungen des Entwurfs von VLSI-Bauelementen und Prozessen gerecht zu werden, finden zunehmend integrierte Technologie Computer Aided Design (TCAD) Systeme Verwendung. Das Viennese Integrated System for Technology CAD Applications (VISTA) ist eine Integrations- und Entwicklungsumgebung, die die Implementierung und Anwendung von CAD-Werkzeugen unterstützt. Die vorliegende Arbeit gibt einen Überblick über den aktuellen Stand des Technologie-CAD aus einer Softwareperspektive und analysiert die Ursachen für typische TCAD-Probleme. Die Architektur einer umfassenden Anwendungsprogrammierumgebung erscheint als Schlüssel zur Lösung vieler dieser Probleme.
VISTA besteht aus einer Datenebene, einer Aufgabendefinitions- und Steuerungsebene, einer graphischen Benutzeroberfläche, aus Einrichtungen für Visualisierung und aus anderen allgemein verwendbaren Diensten. Die grundlegenden Strukturen dieser Teile, sowie die wichtigsten Implementierungsdetails werden in dieser Arbeit beschrieben. Der Umfang und die Komplexität einer Anwendungsprogrammierumgebung für Technologie-CAD machen klar, daß neben der reinen Funktionalität auch qualitative Eigenschaften der Software besondere Aufmerksamkeit verdienen. Das Streben nach Geschlossenheit des Konzeptes ist entscheidend, um ein System zu schaffen, das für den Benutzer transparent und für den Programmierer verständlich ist.
Ein typischer allgemeiner Dienst des Anwendungsprogrammiersystems VISTA ist die Erzeugung eines geometriekonformen triangularen Gitters aus beliebigen Geometrie- und Gittereingabedaten. Architektur und Implementierung dieser Komponente werden detailliert beschrieben.
Ein planarisierter viertel-Mikrometer CMOS Prozeß mit flacher Grabenisolation dient zur Demonstration für die Verwendung von VISTA zur Integration und Kopplung unterschiedlichster Simulationswerkzeuge. Alle beschriebenen Komponenten des Systems finden in diesem Prozeßsimulationsbeispiel Verwendung.
Der präsentierte Gittergenerator dient zur Erläuterung der Integrations- und Entwicklungsunterstützung, die von VISTA geboten wird. Der vorliegende Text schließt mit einer Diskussion des Technologie-CAD und mit Betrachtungen möglicher zukünftiger Entwicklungen.