Mein Dank gilt all denen, die mich während meiner Zeit am Institut für Mikroelektronik positiv beeinflusst haben. Ohne die Unterstützung meiner Kollegen und Freunde wäre das Zustandekommen dieser Arbeit nicht in dieser Form möglich gewesen. Vor allem möchte ich mich bei Prof. Dr. Siegfried Selberherr bedanken. Durch seine hervorragende Betreuung, die ausgezeichnete Ausstattung am Institut, seine guten industriellen Kontakte, sein Talent mich mit der richtigen Dosis an Druck und dennoch ausreichendem Entfaltungsfreiraum zu motivieren, sowie durch das angenehme Arbeitsklima ist das Gelingen dieser Arbeit erst möglich geworden.
Besonders danken möchte ich ebenfalls meinem Zweitbetreuer Prof. Dr. Herbert Haas vom Institut für Grundlagen und Theorie der Elektrotechnik, der mit seiner fachliche Kompetenz und Erfahrung im Gebiet der Finiten Elemente Simulation mir dabei half alle Unklarheiten im theoretischen Teil dieser Arbeit zu bereinigen.
Robert Bauer hat mit seiner Dissertation und seinen Simulationsprogrammen zur Kapazitätsextraktion den Grundstein für meine Arbeit gelegt und hatte für meine Fragen immer ein offenes Ohr. Mein Kollege Robert Kosik stand mir bei mathematischen Problemen immer mit guten Tipps beiseite und hat sich damit großes Lob verdient. Speziell möchte ich mich bei meinen Zimmerkollegen Helmut Puchner, Ernst Leitner, Heinrich Kirchauer, Rui Martins, Andreas Stach, Wolfgang Pyka, Andreas Hössinger, Christian Harlander und Johann Cervenka bedanken, die nicht nur für die angenehme Arbeitsatmosphäre verantwortlich waren, sondern auch jederzeit hilfsbereit waren, wenn es darum ging fachliche Diskussionen zu führen, das Computernetzwerk zu testen oder ab und zu ein Bier zu trinken. Mein Dank ergeht auch an meinen Kollegen Peter Fleischmann, der es oftmals als einziger schaffte, meinen schlecht erzählen Witzen und Wortspielen durch seine Heiterkeit trotzdem etwas an Humor abzugewinnen.
Weiters möchte ich mich noch bei Sabine Gundacker bedanken, die mir bei der neuen deutschen Rechtschreibung auf die Sprünge geholfen hat. Mein Lob gilt auch Hannes Rohrböck, der über die Jahre für mein leibliches Wohl gesorgt hat.
Großen Dank verdienen auch meine Eltern und Verwandten für ihre Unterstützung während meines gesamten Studiums.
Den größten Dank möchte ich meiner Freundin Gabi Gundacker aussprechen, die mich umsorgt und mit ihrer Liebe verwöhnt hat.
