D i s s e r t a t i o n

Atomistic Modeling in the Context of the
Bias Temperature Instability


ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademi- schen Grades eines Doktors der technischen Wis- senschaften

eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

von
FRANZ SCHANOVSKY
Engerthstraße 230/7/13
A-1020 Wien, Österreich
Matr. Nr. 0025423
geboren am 28. Juni 1981 in Linz

Wien, im März 2013

Abstract
Kurzfassung
Acknowledgment
Contents
1  Introduction
2  Theory of States and Reactions
3  A Microscopic Reaction-Diffusion Model for NBTI
4  Atomistic Modeling and the BTI Defect
5  Conclusion and Outlook
Bibliography
Own Publications
Curriculum Vitae
Abschied nimmt die bunte Welt,
die so lieb mir ward.
Hab ich auch das Ziel verfehlt,
kühn war doch die Fahrt. (Hermann Hesse)