Vorerst möchte ich mich bei allen, die meine Tätigkeit am Institut für Mikroelektronik der TU-Wien positiv beeinflußt haben, herzlich bedanken. Besonders hervorheben möchte ich meinen Doktorvater o. Prof. Dr. Siegfried Selberherr, der mir einen großzügig ausgestatteten Arbeitsplatz zur Verfügung stellte und mir den nötigen Freiraum gewährte, den eine eigenständige Arbeit benötigt.
Dr. Martin Stiftinger war mir durch sein umfangreiches Wissen über numerische Methoden zur Lösung von Gleichungssystemen eine große Hilfe bei der effizienten Implementierung von iterativen Gleichungslösern.
Dr. Claus Fischer war ein wichtiger Diskussionspartner, der durch seine rasche Auffassungsgabe viele Details dieser Arbeit positiv beeinflußt hat und die vorliegende Arbeit Korrektur las.
Mein Zimmerkollege Dipl.-Ing. Ernst Strasser sorgte für ein angenehmes Arbeitsklima und war immer für eine ausgiebige Diskussion fachlicher oder allgemeiner Art bereit.
Prof. Dr. Herbert Haas vom Institut für Grundlagen und Theorie der Elektrotechnik hat mir durch sein ausgezeichnetes Vorlesungsskriptum über finite Elemente einen einfachen Einstieg in die Materie ermöglicht. Außerdem hat er mich durch seine fachliche Kompetenz bei der Aufarbeitung des einen oder anderen Problems theoretischer Art unterstützt.
Die Firma Sony ermöglichte mir einen interessanten Studienaufenthalt in Japan, der mir einen Einblick in japanische Kultur und Arbeitsweise gewährte. In diesem Zusammenhang möchte ich Dr. Phil Oldiges und Dipl.-Ing. Thomas Böhm hervorheben, die mich durch ihre tatkräftige Unterstützung vor einem Kulturschock bewahrten.
Den letzten, aber größten Dank möchte ich meinen Eltern und meiner Freundin Silvia Giller aussprechen, die mich während dieser Zeit in jeder Hinsicht unterstützten.