Um das Amorphisierungsmodell mathematisch formulieren zu können, muß, wie bereits erwähnt, die Temperaturabhängigkeit von getrennt von deren Ortsabhängigkeit untersucht werden. Am einfachsten läßt sich das bewerkstelligen, wenn zuerst bei mittels der Ausdiffusionsgleichung beschrieben, und anschließend unter zu Hilfenahme von modelliert wird.