Danksagung

Mein Dank gilt all jenen, die bei der Entstehung dieser Arbeit mitgewirkt haben. In erster Linie möchte ich O.Univ.Prof.Dr. Siegfried Selberherr für seine fachliche Unterstützung und die Möglichkeit zu freier Entfaltung danken. Als besonders angenehm empfand ich, daß ich mich völlig auf meine wissenschaftliche Arbeit konzentrieren konnte, da ich mich niemals um Probleme technischer oder finanzieller Natur sorgen mußte. Speziell hervorzuheben ist, daß ich durch meine Mitarbeit am PROMPT Projekt der Europäischen Union und durch die Teilnahme an Konferenzen auch die Chance erhielt, international Erfahrung zu sammeln.

Ao.Univ.Prof.Dr. Wolfgang Fallmann, der sich kurzfristig als zweiter Begutachter zur Verfügung gestellt hat und meine Dissertation gewissenhaft korrigierte, spreche ich ebenfalls meinen Dank aus.

Meine beiden Kollegen Dr. Gerhard Hobler und Dr. Hannes Stippel, die mit ihren wissenschaftlichen Arbeiten eine ausgezeichnete Basis für meine weiterführende Forschungstätigkeit gelegt haben, dürfen an dieser Stelle nicht unerwähnt bleiben.

Ohne das große und geduldige Engagement von Dr. Alexander Burenkov wäre die Dissertation in dieser Form nicht zustandegekommen. Während meines Forschungsaufenthaltes am Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen in Erlangen, den ich vor allem Herrn Jürgen Lorenz verdanke, wurden nicht nur fachliche Probleme gelöst, sondern auch Wert auf geselliges Beisammensein gelegt.

Der TCAD-Gruppe unter der Leitung von Dr. Mikio Mukai des Sony Corporation Atsugi Technology Center verdanke ich Einblicke in den industriellen Alltag und die japanische Lebensweise, aber erst die Hilfestellung von Takeshi Kobayashi ermöglichte diesen Aufenthalt. Das Bereitstellen von SIMS Meßresultaten versetzte mich außerdem in die Lage, die physikalischen Modelle des Simulators zu überprüfen.

Daß mir die drei am Institut für Mikroelektronik verbrachten Jahre in guter Erinnerung bleiben werden, ist nicht zuletzt das Verdienst all meiner Kollegen. Heinrich Kirchauer, Ernst Leitner, Rainer Sabelka, Andreas Stach und Dr. Ernst Strasser haben maßgeblich zu einem freundschaftlichen Arbeitsklima beigetragen und waren auch für private Unternehmungen jederzeit zu haben. Dr. Hans Kosina und Dr. Thomas Simlinger nahmen sich darüber hinaus die Zeit, meine Dissertation zu korrigieren und Christian Köpf und Erwin Hollensteiner halfen mir bei der Erstellung meines Literaturverzeichnisses.

Der größte Dank gebührt jedoch meinen Eltern, die mich unermüdlich und selbstlos unterstützten und mir damit mein akademisches Weiterkommen erst ermöglichten.

Ohne die Verständnisbereitschaft meiner Freundin Carmen Nagl für meine Arbeit und ihre aktive Mithilfe bei sprachlichen Formulierungen, wäre deren Verwirklichung nicht in dieser Zeit durchführbar gewesen.