Der Ätzsimulator liefert lediglich die Geometrie der Struktur. Für die Simulation von Diffusionsprozessen ist jedoch eine körperorientierte Diskretisierung dieser Struktur in Form eines Finite-Elemente-Gitters erforderlich. Dieses Gitter wird mithilfe des Programms deLink [Fle96] erzeugt. Dieses Programm erzeugt ein Tetraedergitter, welches der Delaunay-Bedingung genügt.
Das resultierende Gitter ist in Abb. 8.3 dargestellt. Es besteht aus 5129 Knoten welche durch 25537 Tetraeder verbunden sind. Die Oberfläche der Struktur ist durch das Ergebnis der Ätzsimulation vorgegeben, während die Knotenpunkte im Inneren vom Gittergenerator gewählt wurden.
