Die Bildung und Auflösung von Paaren ist essentieller Bestandteil der Diffusionstheorie. Eine Umverteilung der unbeweglichen substitutionellen Fremdatome erfolgt durch die Wechselwirkung mit intrinsischen Punktdefekten. Wenn sich ein Fremdatom und ein intrinsischer Defekt nahe genug kommen, bilden diese aufgrund der energetischen Begünstigung ein Paar. Dieses Paar löst sich zwar schnell wieder auf, doch durch die nach wie vor kurzen Abstände ist die Wahrscheinlichkeit für eine erneute Paarbildung relativ hoch. Die dabei ständig stattfindenden Platzwechselvorgänge führen zu einer relativ hohen Beweglichkeit eines derartigen Paares. Durch die lose Bindung aneinander bewegen sich die beiden Atome eine mittlere Weglänge gemeinsam, bevor es zur endgültigen Auflösung des Paares kommt.
Die Diffusionsgleichung, sowohl für die Paare als auch der beteiligten Defekte, ist daher um die
Nettogenerationsrate
(2.8) |
Betrachtet man binäre Reaktionen (nA=nB=nC=1 in Gl. 2.6), läßt sich der
Reaktionskoeffizient eines reaktionslimitierten Prozesses durch
(2.9) |
Der Reaktionskoeffizient eines rein diffusionslimitierten Prozesses hingegen ergibt sich zu
(2.11) |
Im allgemeinen ist jede Reaktion zumindest teilweise diffusions- und reaktionslimitiert. Beide
Mechanismen sind im wesentlichen durch die Sprungfrequenz der beteiligten Teilchen bestimmt. Da
die räumliche Auflösung der benachbarten Einzelteilchen durch Diffusion erst nach der
Auflösung des Paares möglich ist, handelt es sich hierbei um eine Art ``Serienschaltung'' der
beiden Effekte. Der tatsächliche Reaktionskoeffizient liegt also zwischen den beiden Grenzen,
welcher sich nach [Hob97] gemäß