Neben den Platzwechselvorgängen beeinflussen die Umwandlungsreaktionen zwischen den verschiedenen Zuständen der Defekte die realen Abläufe. Während etwa die Ionisierung von Dopanden sehr schnell im Vergleich zu allen anderen Reaktionen vonstatten geht und daher vom Ionisationsgleichgewicht ausgegangen werden kann, gibt es eine Reihe von Reaktionen die sich nicht im Gleichgewicht befinden. Es ist in diesem Fall die Kinetik der beteiligten Umwandlungsreaktionen zu berücksichtigen.