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Unter diese Kategorie fällt die Rekombination von Interstitials und Vacancies an der
Silizium-Siliziumdioxyd Grenze. Im Falle inerter Prozeßbedingungen erzwingt die Grenzfläche die
Gleichgewichtskonzentrationen für Interstitials und Vacancies, welche sich durch die
Teilchenströme gemäß
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(2.19) |
einstellen, wobei X jeweils für I und V steht [Hu74]. Der Teilchenfluß
am Rand wird durch die Reaktionsgeschwindigkeiten
sowie durch die Gleichwichtskonzentrationen
am Rand für Vacancies und
Interstitials bestimmt. Die Reaktionsgeschwindigkeiten können entsprechend
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(2.20) |
aus den Diffusionskoeffizienten DX und den Wirkungsradien
ermittelt werden. Es
entspricht dies der Annahme einer diffusionslimitierten
Grenzflächenreaktion [Aga93].
Ernst Leitner
1997-12-30