In der vorliegenden Arbeit wird ein Programm für den graphischen Entwurf von Strukturen aus der Mikroelektronik präsentiert. Es wurde für die Verwendung in einem Technology Computer Aided Design (TCAD) System, dem Viennese Integrated System for Technology CAD Applications (VISTA), entwickelt. TCAD-Systeme dienen der computergestützten Entwicklung von Fertigungsprozessen für Halbleiterbauelemente mit besonderer Berücksichtigung der Kombination und Einbettung der verwendeten Einzelprogramme.
Dieses Programm, genannt Profile Interchange Format Editor (PIF-Editor, PED), ermöglicht auch die Korrektur oder Weiterbearbeitung von Bauteilstrukturen auf graphischem Weg. Die verfügbaren datenverarbeitenden und graphischen Funktionen können in einer Erweiterungssprache zu nahezu beliebigen komplexeren Operationen kombiniert werden. Da alle datenbezogenen Funktionen des PIF-Editors auch im Stapelbetrieb eingesetzt werden können, steht ein leistungsfähiges Werkzeug zur Vereinfachung komplexer Simulationsabläufe innerhalb des VISTA-Systems zur Verfügung.
Der PIF-Editor vereinigt interaktive Fähigkeiten mit Graphik und der Verarbeitung geometrischer und physikalischer Daten. Eine Reihe von Problemen im Zusammenhang mit den graphischen Eigenschaften, der Benutzerschnittstelle, der Datenschnittstelle und dem Zusammentreffen ihrer unterschiedlichen Paradigmen wurde gelöst. Die Mechanismen und zugrundeliegenden Entwurfsentscheidungen werden diskutiert.
Die vielfältigen Einsatzmöglichkeiten dieses Programms werden anhand einiger Funktionen für typische Herstellungsprozeßschritte gezeigt, aus denen Prozeduren für die Erzeugung von vollständigen Bauelementstrukturen für den Gebrauch in Simulatoren aufgebaut werden.