D I S S E R T A T I O N

Ein graphischer Editor für Entwurf von Halbleiterbauteilen

ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften
eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik

von

Gerhard Rieger

Schuhgasse 2B
A-3002 Purkersdorf
Matr.-Nr. 8225331
geboren am 8. Dezember 1963 in Wien

Wien, im Mai 1996

• Kurzfassung
• Abstract
• Fachausdrücke
• Abkürzungen
• 1 Einleitung
  • 1.1 Computeranwendung - Computerentwicklung
  • 1.2 Simulation
  • 1.3 Halbleitertechnologie-CAD
• 2 VISTA
  • 2.1 Eigenschaften
  • 2.2 Datenmäßige Kopplung von Programmen
  • 2.3 PIF Datenformat
  • 2.4 Wafer-State Beschreibung
  • 2.5 VISTA Benutzerschnittstelle
• 3 PIF Editor
  • 3.1 Anforderungen
  • 3.2 Diskussion
  • 3.3 Realisierung
  • 3.4 Aufbau
    • 3.4.1 Datenschnittstelle
    • 3.4.2 Kern
    • 3.4.3 Darstellungsmodul
    • 3.4.4 Bildschirmdarstellung
    • 3.4.5 Benutzerschnittstelle
    • 3.4.6 Kontrollmodul
  • 3.5 Arbeitsweise
    • 3.5.1 Aufruf
    • 3.5.2 Initialisierung
    • 3.5.3 Normalbetrieb
    • 3.5.4 Stapelbetrieb
• 4 PIF-Datenrepräsentation
  • 4.1 PIF-Schnittstellen in VISTA
  • 4.2 CLS-Unterprogrammbibliothek
    • 4.2.1 Anforderungen an die Datenrepräsentation
    • 4.2.2 Objektstruktur
    • 4.2.3 Implementation von Listen
    • 4.2.4 Operationen auf Listen
    • 4.2.5 Negative Referenzen
    • 4.2.6 Syntaktische Aspekte
    • 4.2.7 PAI-Anbindung
    • 4.2.8 Weitere Mechanismen
      • Registrierung von Veränderungen
      • Namen neuer Objekte
      • Löschen von Objekten
    • 4.2.9 Anwendungsfunktionen
• 5 VLISP-Anbindung
  • 5.1 Vorteile von Interpretersprachen in interaktiven
    Programmen
  • 5.2 VLISP in VISTA
  • 5.3 Tool Abstraction Concept
  • 5.4 Konzept der Interpreternutzung im PIF-Editor
    • 5.4.1 Programmierung der Datenschnittstelle
    • 5.4.2 Benutzerschnittstelle
  • 5.5 Nutzung anderer Programme
• 6 Benutzerschnittstelle und Kontrollmodul
  • 6.1 XWindow-Applikation
  • 6.2 Eingabeanalyse
    • 6.2.1 Problematik
    • 6.2.2 Lösungsansatz
    • 6.2.3 Grammatik
    • 6.2.4 Parser
    • 6.2.5 Konfiguration der Bedienelemente
    • 6.2.6 Schleifen
    • 6.2.7 Spezielle Eingabeschlüsselworte
    • 6.2.8 Gesamtfunktion
    • 6.2.9 Transiente Regeln
• 7 Graphikschnittstelle
  • 7.1 Struktur der graphischen Module
    • 7.1.1 Koordinatensysteme
    • 7.1.2 Zusammenwirken der Graphikmodule
  • 7.2 Geräteunabhängige Ausgabeschnittstelle
  • 7.3 Darstellungsmodul
    • 7.3.1 Ansteuerung
    • 7.3.2 Projektionen
    • 7.3.3 Zweidimensionale Darstellung
    • 7.3.4 Implementation des Tiefensortieralgorithmus
    • 7.3.5 Graphische Gestaltungsmittel
      • Attribute für Flächen
      • Attribute für Linien
      • Attribute für Punkte
  • 7.4 XWindow-Treiber
    • 7.4.1 Grobabschneiden
    • 7.4.2 Abbildung kontinuierlicher Größen auf Pixel
    • 7.4.3 Benutzerinteraktion
  • 7.5 Treiber für das Simple Vector Graphics Format
    • 7.5.1 Bildausschnitt
    • 7.5.2 Abschneiden
    • 7.5.3 Achsen
    • 7.5.4 Inkompatibilitäten
  • 7.6 Graphische Dateneingabe
    • 7.6.1 Ermittlung der projizierten Weltkoordinaten
    • 7.6.2 Rücktransformation auf Weltkoordinaten
    • 7.6.3 Magnet
• 8 PIF-Editor-Kern
  • 8.1 Verwaltung der bearbeiteten Daten
  • 8.2 Geometrische Lokalisierung
  • 8.3 Bearbeitung von Eingaben
• 9 Ausgewählte Funktionen
  • 9.1 Substratgenerierung
  • 9.2 Deposition
  • 9.3 Gittergenerierung
  • 9.4 Implantation
• 10 Anwendungen
  • 10.1 Diode
  • 10.2 MOSFET
  • 10.3 CCD
  • 10.4 Layout-Anbindung
• 11 Ausblick
• Auszug aus der Grammatik des PIF-Editors
• Menüs des PIF-Editors
• Literatur
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