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1.3 Halbleitertechnologie-CAD

 

Mit der zunehmenden Miniaturisierung der Bauelemente in integrierten Schaltungen steigt der Aufwand für die Herstellung (zur Zeit mehrere hundert Einzelschritte), aber auch die Weiterentwicklung der Technologie wird immer schwieriger. Immer mehr Effekte, die früher eine untergeordnete Rolle spielten, müssen berücksichtigt werden [32].

Als Unterstützung bei Lösung dieser Probleme dient die Simulation der Herstellung (Prozeßsimulation) und des elektrischen Verhaltens (Bauelementsimulation) der Bauteile.

Während früher nur einzelne besonders kritische oder schwierige Probleme mit Computerhilfe und speziellen Programmen (Simulatoren) gelöst wurden, erfordert die zunehmende Komplexität der Fragestellungen heute umfassende Lösungsansätze. Gleichzeitig sind die Computer entsprechend leistungsfähig geworden, um sich dieser Herausforderung zu stellen.

Verschiedene Simulatoren, die für bestimmte Zwecke entwickelt wurden (sogenannte point tools, Spezialprogramme), müssen derartig kombiniert werden, daß Resultate des einen als Eingabe für einen anderen Simulator verwendet werden können. Als Antwort auf dieses Problem werden sogenannte TCAD-Systeme (TCAD-frameworks) eingesetzt. Diese haben die Aufgabe, die Simulatoren zu steuern und ihre Kommunikation durchzuführen. Damit ist eine ganze Reihe von Problemen verbunden, die in [19] diskutiert werden. Heute ist eine Vielzahl von TCAD-Systemen im Einsatz (s. z.B. [19, S. 15,], [13]). Wenn sie auch im Detail sehr große Unterschiede aufweisen, lassen sich ihre implementationsmäßigen Problembereiche doch im wesentlichen nach dem folgenden Schema einteilen:

Simulatoren, ,,tool``:
Die integrierten Programme zur Berechnung von Einzelproblemen, seien sie ,,importiert`` oder eigens für das System entwickelt. Entsprechend ihrem Zweck spricht man von Prozeßsimulatoren und Bauteil- (Device)-Simulatoren.

Datenmäßige Kopplung, ,,data``:
Der Datenbereich, der die Mittel für Zugriffe auf die Datenbanken enthält, sowie die Hilfsprogramme zur datenmäßigen Anbindung unveränderter Programme. Dieser Komplex wird in Abschnitt 2.2 diskutiert.

Steuerung, ,,task``:
Alle Teile, die der Kontrolle und Koordination der Simulatoren und der anderen Programme dienen, einschließlich der Mechanismen zur Automatisierung.

Benutzerschnittstelle, ,,presentation``:
Die (zumeist graphische) Oberfläche des Systems, die unter Ausnützung der Möglichkeiten moderner Computer-Arbeitsplätze dem Anwender komfortable Möglichkeiten zur Inanspruchnahme der Systemdienste bietet und für anschauliche Darstellung der Ergebnisse sorgt.


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Martin Knaipp
Wed Jun 12 15:41:33 MET DST 1996