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Mit der Kenntnis vieler bereits aufgetretener Probleme der Darstellung
von Halbleitern für Simulation konnte ein Versuch für
die Spezifikation eines zentralen
Datenaustauschformats unternommen werden [8].
Hauptsächlich sind Geometrie sowie verschiedene konzentrierte und verteilte
Geometrie- und Materialeigenschaften darzustellen.
Vor der Beschreibung der PIF-Implementierung des Institutes für
Mikroelektronik sei darauf hingewiesen, daß es aus historischen
und technischen Gründen verschiedene ,,Stufen`` gibt:
-
Zum einen die Syntaxdefinition, die als Grammatik formuliert
und an die LISP-Syntax angelehnt wurde. Diese ist so allgemein gehalten, daß das PIF-Format auch als
Basis für die Materialdatenbank und Layout-Beschreibungen herangezogen
wird.
-
Die Regeln für die Repräsentierung von Halbleiterstrukturen sind
durch den Wafer-State beschrieben (s. Abschnitt 2.4).
Sie schränken PIF syntaktisch und vor allem semantisch stark ein,
um die Darstellung möglichst zu vereinheitlichen.
-
Die PIF-Syntax ist in den
unteren Schichten des PIF application interface (PAI)
und im pbfm für die Konversionen zwischen Text- und Binärformat
weitgehend vollständig implementiert.
-
Die oberste Schicht des PAI, der PIF application layer (PAL)
unterliegt einigen (zumeist sinnvollen) Einschränkungen.
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Die Schnittstellen ,,geometry 2-dimensional support`` (G2S) und
,,geometry attribute support`` (GAS)
sind für Teilbereiche des PIF
konzipiert (zweidimensionale Geometrien, Attribute)
und beschränken sich auf den Wafer-State.
-
Die in Kapitel 4.2 vorgestellte Schnittstelle ,,C list support``
(CLS) ist vergleichsweise umfassend, hat aber auch einige Beschränkungen.
Das PIF-Format enthält Informationen über Geometrie, Eigenschaften
und Gitter.
Die Geometrie
definiert das ein-, zwei- oder dreidimensionale Simulationsgebiet sowie
Materialgrenzen und logische (abstrakte) Grenzen durch Punkte, Linien,
Flächen und Volumina,
die jeweils durch Koordinaten oder durch Bezug auf
andere Elemente definiert werden.
Gitter sind gleichfalls aus diesen geometrischen Elementen aufgebaut.
Eigenschaften aller Art werden in Attributen abgelegt, gegebenenfalls
unter Zuhilfenahme von Gitter.
Beziehungen zwischen Teilen werden durch Referenzen oder
Schachtelungen festgelegt.
Weitere Konstrukte wie Kommentare, Zeitmarken und Gruppierungen runden
den Umfang der Syntax ab.
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Martin Knaipp
Wed Jun 12 15:41:33 MET DST 1996