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Die Programme SCAP und STAP sind FEM Simulatoren zur Extraktion von
Kapazitäten und Widerständen,
quasi-elektrostatischen Berechnungen, sowie die stationären und transienten
elektrothermischen Simulationen.
Nachdem die .fem-Datei mit dem Simulationsgitter eingelesen
wurde kann zur Erhöhung der Rechengenauigkeit optional ein oder mehrere
globale Gitterverfeinerungsschritte durchgeführt werden, sowie
zwischen linearen und quadratischen Ansatzfunktionen ausgewählt werden.
(Dies wird über Kommandozeilenparameter realisiert,
da die Simulatoren für den Batchbetrieb ausgelegt sind und
keinerlei Benutzerinteraktionen während des Programmablaufs benötigen.)
Anschließend werden Gitter und Randbedingungen analysiert und in
Teilprobleme zerlegt (elektrisch, thermisch, usw.).
Je nach Simulationsmodus wird dann eine eigene Hauptschleife aufgerufen,
in der dann die Feldberechnungen für die Parameterextraktion bzw.
transienten oder stationären Simulation durchgeführt werden.
Die berechnet verteilten Größen können anschließend in einer Datei
abgespeichert werden.
In Abb. A.4 ist die Potenzialverteilung des Beispiels aus Abb. A.2
dargestellt.
Abbildung A.4:
Potenzial (in V) bei einer
Kapazitätsberechnung: Das Gitter der mittleren Elektrode wurde
automatisch entfernt und stattdessen eine schwebende Randbedingung
angenommen.
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R. Sabelka: Dreidimensionale Finite Elemente Simulation von Verdrahtungsstrukturen auf Integrierten Schaltungen