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Scap und Stap

Die Programme SCAP und STAP sind FEM Simulatoren zur Extraktion von Kapazitäten und Widerständen, quasi-elektrostatischen Berechnungen, sowie die stationären und transienten elektrothermischen Simulationen. Nachdem die .fem-Datei mit dem Simulationsgitter eingelesen wurde kann zur Erhöhung der Rechengenauigkeit optional ein oder mehrere globale Gitterverfeinerungsschritte durchgeführt werden, sowie zwischen linearen und quadratischen Ansatzfunktionen ausgewählt werden. (Dies wird über Kommandozeilenparameter realisiert, da die Simulatoren für den Batchbetrieb ausgelegt sind und keinerlei Benutzerinteraktionen während des Programmablaufs benötigen.) Anschließend werden Gitter und Randbedingungen analysiert und in Teilprobleme zerlegt (elektrisch, thermisch, usw.).

Je nach Simulationsmodus wird dann eine eigene Hauptschleife aufgerufen, in der dann die Feldberechnungen für die Parameterextraktion bzw. transienten oder stationären Simulation durchgeführt werden. Die berechnet verteilten Größen können anschließend in einer Datei abgespeichert werden.

In Abb. A.4 ist die Potenzialverteilung des Beispiels aus Abb. A.2 dargestellt.

Abbildung A.4: Potenzial (in V) bei einer Kapazitätsberechnung: Das Gitter der mittleren Elektrode wurde automatisch entfernt und stattdessen eine schwebende Randbedingung angenommen.
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R. Sabelka: Dreidimensionale Finite Elemente Simulation von Verdrahtungsstrukturen auf Integrierten Schaltungen