Für eine flexible Einsatzmöglichkeit muß der DMOS-Transistor von den anderen Bauelementen isoliert werden (vgl. Abschnitt 2.2). Neben der hier verwendeten junction-Isolierung (durch in allen Betriebszuständen gesperrte -Übergänge) ist auch eine dielektrische Isolierung (z.B. durch SOI-Technik mit seitlicher Trenchisolierung) möglich [4][85][130].