3.1.1 Isolierung



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3.1.1 Isolierung

 

Für eine flexible Einsatzmöglichkeit muß der DMOS-Transistor von den anderen Bauelementen isoliert werden (vgl. Abschnitt 2.2). Neben der hier verwendeten junction-Isolierung (durch in allen Betriebszuständen gesperrte -Übergänge) ist auch eine dielektrische Isolierung (z.B. durch SOI-Technik mit seitlicher Trenchisolierung) möglich [4][85][130].



Martin Stiftinger
Wed Oct 5 11:53:06 MET 1994