6.2.3.1 Der Ansatz von Kim und Fossum



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6.2.3.1 Der Ansatz von Kim und Fossum

 

Das Kanalmodell von Kim und Fossum [63] geht von folgender Gleichung für die starke Inversion aus:

 

In den Gleichungen für die Inversions- und Bulkladungsdichte steckt die durch angenäherte nichtkonstante Kanaldotierung:

  

Aus Gleichung 6.50 folgt mit der Bulkverarmungskapazität die Beziehung . Unter Vernachlässigung der Tatsache, daß wegen der nichtkonstanten Kanaldotierung eine Funktion von ist, und mit

 

folgt für den Drainstrom:

 

Definitionsgemäß gilt:

 

kann durch Integration von längs des Kanals errechnet werden zu:

 

Damit kann der Drainstrom in der bekannten Form geschrieben werden:

 

Im nachhinein wird nun versucht, so zu bestimmen, daß die nichtkonstante Kanaldotierung berücksichtigt wird. Mit der Umkehrfunktion für und mit folgt:

 

 

Unter der Annahme eines über die Kanallänge konstanten und einer linearen Kanalpotentialverteilung () kann Gleichung 6.58 längs des Kanals integriert werden. Die schwache (nur logarithmische) Abhängigkeit von von wird ebenfalls vernachlässigt. Es folgt mit :

 

In [63] wird für der Ausdruck

 

angegeben. Diese Formel kann man aus Gleichung 6.59 für kleine durch Reihenentwicklung unter Vernachlässigung des Terms und für gewinnen. Allerdings ist bei einem Unterschied in der Dotierungskonzentration um einen Faktor (dieser Wert ist für die in dieser Arbeit untersuchte Technologie anzusetzen) zwischen source- und drainseitigem Ende des Kanals etwa . Dafür ist die Vereinfachung aus Gleichung 6.60 eigentlich nicht anwendbar.

Die Drainstromformel für den nichtvereinfachten Ausdrucks aus Gleichung 6.59 lautet:

  

Für ergibt sich mit die klassische Lösung:

 

Dieses Modell liefert für höhere Ströme als das klassische Modell () und eine Verringerung der Schwellspannung. Dies ist physikalisch durch eine geringere Verarmungsladung am drainseitigen Ende des Kanals erklärbar.

Die Terme und aus Gleichung 6.62 sind in Abb. 6.3 auf bezogen über dem ,,Steilheitsfaktor`` dargestellt. kann auch als Verschiebung der Schwellspannung aufgefaßt werden: . Der Vorfaktor wurde zu (und nicht zu ) gewählt, um eine leichte Vergleichbarkeit mit dem neuen Modell (siehe nächster Abschnitt) zu ermöglichen.

  
Abbildung 6.3: Auf bezogene, durch die Berücksichtigung des nichtkonstanten Dotierungsprofils beeinflußte Terme nach Kim und Fossum.

Obwohl dieser Ansatz für den DC-Fall durchaus physikalisch plausible Resultate liefert, ist ein wesentliches Problem mit diesem Modell verbunden: Es kann nicht auf ein AC-Modell erweitert werden. Deshalb wurde ein neuer Ansatz versucht, der im nächsten Abschnitt vorgestellt werden soll. Es zeigt sich, daß sich das neue Modell durch eine konsistentere Herleitung auszeichnet, die zusätzlich wesentlich kürzer ist.



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Martin Stiftinger
Wed Oct 5 11:53:06 MET 1994