Diese Arbeit entstand am Institut für Mikroelektronik. Ich möchte mich an dieser Stelle recht herzlich bei all jenen bedanken, die mir während dieser Zeit mit Rat und Tat zur Seite standen und damit zum Gelingen beitrugen, allen voran meinem Doktorvater Professor Dr. Siegfried Selberherr für die Betreuung und die - nicht nur fachliche, sondern auch moralische - Unterstützung bei dieser Dissertation. Mein besonderer Dank gilt aber auch Dr. Gerhard Hobler vom Institut für Allgemeine Elektrotechnik und Elektronik, der mir immer und unter allen Umständen bei allen fachlichen Fragen half.
Meine Arbeit wurde durch den Forschungsauftrag ,,Simulation der Ionen-Implantation`` (GZ. 160.010/4-26/90) durch das Bundesministerium für Wissenschaft und Forschung finanziell ermöglicht.
Allen Kollegen am Institut für Mikroelektronik bin ich sehr für ihre Hilfsbereitschaft und Gesprächsbereitschaft verbunden. Mein besonderer Dank gilt hier Claus Fischer, dem ich schon von unserer gemeinsamen Studienzeit während des Diplomstudiums herzlich verbunden bin, und der mich nicht nur in vielen fruchtvollen fachlichen Gesprächen mit neuen Ideen versorgte und meine literarisch-technischen Ergüsse Korrektur lesen durfte, sondern auch beim Billardspielen durch innovative Stoßversuche immer wieder verblüffte, und Ernst Strasser, der mir neben vielen fachlichen Impulsen vor allem auch während der Vorbereitung für die SISDEP 93 Konferenz zu einem echten Freund erwachsen ist. Weiters möchte ich mich bei meinen Zimmerkollegen, Helmut Puchner und Robert Bauer, dafür bedanken, daß sie mich ertragen und beim Verzehr von Keksen und Kompott immer tatkräftig unterstützt haben.
Nicht genug danken kann ich jedoch meinem langjährigen Zimmerkollegen und Freund Dr. Karl Wimmer, der mir - ganz abgesehen davon, daß er alle meine Publikationen und auch diese Arbeit Korrektur gelesen und damit wesentlich zum Gelingen beigetragen hat - immer ein Vorbild war: nicht nur in fachlicher Hinsicht in vielen Diskussionen mit vielen neuen Ideen und aufgrund seiner exakten Arbeitsweise, sondern vor allem auch in menschlicher Hinsicht. Er verstand es auch mich in schweren Stunden wieder aufzurichten. Ich werde ihm immer in echter Freundschaft verbunden sein.
Herzlichen Dank möchte ich noch dem nichtwissenschaftlichen Personal und hier besonders Offizial Ewald Haslinger aussprechen, die über ihre normale Arbeit hinaus, ohne die das Institut nie funktionieren würde, uns bei der Vorbereitung und Organisation der SISDEP 93 Konferenz teilweise sogar aufopfernd unterstützt haben.
Der größte Dank gilt aber sicher meinen Eltern, die mich von frühester Jugend an immer unterstützt und gefördert haben, und sogar manche meiner Arbeiten Korrektur gelesen haben. Ohne solchen Rückhalt wäre diese Arbeit nie zustande gekommen. Daher möchte ich als kleines Dankeschön auch ihnen diese Dissertation widmen. Herzlich bedanken möchte ich mich aber auch bei meiner Schwester, die immer ein offenes Ohr und oft auch wertvolle Ratschläge für meine Probleme hatte und mich zu manch' netter Kaffeejause lud. Schließlich danke ich noch meiner langjährigen Freundin Margit und ihrer Familie, die mich auch fast zwei Jahre während meiner Dissertation unterstützt haben.