Danksagung

VIELE Menschen haben am Gelingen dieser Arbeit einen wesentlichen Anteil geleistet. Meinen Dank möchte ich vor allem Prof. Dr. Siegfried Selberherr und Prof. Dr. Erasmus Langer ausdrücken, die es mir ermöglichten an ihrem Institut zu promovieren, an dem ich eine ausgezeichnete Infrastruktur vorfand.

Großer Dank gilt meinem Betreuer Prof. Hans Kosina, von dessen profundem Fachwissen ich sehr profitierte, und der sich trotz der Vielzahl seiner Aufgaben immer Zeit für mich genommen hat. Er hat diese Arbeit durch zahlreiche Anregungen wesentlich verbessert.

Fachliche Unterstützung fand ich auch bei Prof. Dr. Tibor Grasser, Dr. Mihail Nedjalkov, Dr. Andreas Gehring und bei Dr. Viktor Sverdlov, die mich durch ihre Kompetenz und ihren Arbeitseifer beeindruckten. Des weiteren profitierte ich von den Vortragsreihen der Gastprofessoren Prof. Dr. Christoph Jungemann und Prof. David Pulfrey.

Die ganzen Jahre hinweg wurde ich außerdem von einer Kollegenschaft begleitet, die ihresgleichen sucht. Rund um die Uhr fand ich hilfsbereite Kollegen vor, die mir immer zur Seite standen. Zuallererst sei an dieser Stelle meinem langjährigen Zimmerkollegen Robert Entner gedankt. Mit ihm verbindet mich eine Freundschaft, die hoffentlich noch viele Jahre währen wird, auch, wenn sich unsere beruflichen Wege jetzt trennen. Das gleiche gilt für meine Kollegen Oskar Baumgartner, Johann Cervenka, Siddhartha Dhar, Klaus Dragosits, Philipp Hehenberger, Stefan Holzer, Gerhard (Monte-)Karlowatz, Markus Karner, Gregor Meller, Vassil Palankovski, Alireza Sheikholeslami, Mahdi Pourfath, Martin Vasicek, Martin Wagner, Paul und Stephan Wagner, Wilfried Wessner und Robert Wittmann.

Schließlich sei meiner Famile gedankt. Sie war immer für mich da und gab mir dadurch mehr Kraft als sie wahrscheinlich vermutet.

Zuletzt möchte ich mich bei meiner Freundin Alexandra bedanken. Sie schenkte mir letztes Jahr einen wundervollen Sohn und unterstützte mich immer mit viel Liebe und Geduld.

Viele Personen, die mir bei dieser Arbeit und während meiner Zeit am Institut für Mikroelektronik ebenfalls halfen, sind ungenannt geblieben. Auch ihnen sei an dieser Stelle gedankt. Ich freue mich, dass mich eine so erstaunlich große Anzahl von Menschen unterstützt.

E. Ungersboeck: Advanced Modelling Aspects of Modern Strained CMOS Technology