Ziel der Implementierung dieses Präprozessors war es, daß die dreidimensionale Verdrahtungsstruktur vom Anwender möglichst einfach spezifiziert werden kann, und die Struktur automatisch in Tetraeder zerlegt wird. Die Methode benutzt die Tatsache, daß die Verdrahtungsstrukturen aus aufgebrachten Schichten, die durch Strukturierungsverfahren die gewünschte Form erhalten, erzeugt werden. Die Methode eignet sich für planare oder mäßig nichtplanare Verdrahtungsstrukturen, die auch große Komplexität aufweisen können. Das dreidimensionale Gitter wird aus einer horizontalen Maskenbeschreibung, die aus dem CAD-Bereich übernommen werden kann, und einer vertikalen Beschreibung der Schichtenstruktur, die aus der Prozeßführung bekannt ist, vollautomatisch generiert.