Der nukleare Energieübertrag zwischen einem Ion und einem
Target-Atom muß bei der Simulation einer Ionentrajektorie berechnet
werden. Bezieht man nun auf ein Raumgebiet
, so
erhält man praktisch ohne nennenswerte CPU Zeit die
,,Damage``-Energiedichte
.
Abbildung 5.3: Vergleich zwischen
experimenteller (Symbole) und simulierter
Damage-Energiedichte in eV/Å/Ion. Fuer erstere wurden die
Messergebnisse bei aus Abbildung 5.2 und
die Formel 5.1 verwendet. Der Wert fuer
wurde so
gewaehlt, dass die Maximalwerte
aus Experiment und
Berechnung zusammenfielen.
Aus den Experimenten von Maszara und Rozgonyi lassen sich sogar mit Hilfe
experimentelle -Kurven konstruieren (siehe Abbildung 5.3). Um
nun diese Kurven mit den simulierten vergleichen zu können, muß laut
Gleichung 5.1 ein Wert für
gefunden werden. Für beide
Implantationsenergien ergab sich dieser Skalierungsfaktor in exzellenter
Übereinstimmung mit der Literatur [Ste70, Nar84] zu
(
), indem die jeweiligen Maximalwerte
aus
Experiment und Simulation zur Deckung gebracht wurden. Da der Ort dieses
Damage-Peaks für das Amorphisierungsmodell von Bedeutung ist, wird er mit
bezeichnet.
Die Abweichungen der jeweiligen Kurven nahe der Siliziumoberfläche lassen sich nicht eindeutig auf eine bestimmte Ursache zurückführen. Jedoch könnten mechanische Spannungen des Wafers, geringe Punktdefektmigrationen oder Meßungenauigkeiten eine Rolle spielen.
Für die weiteren Untersuchungen kann mit hinreichender Genauigkeit
angenommen werden, daß nicht von T
abhängt
.