Trägt man nun D als Funktion der aus den X-TEM Bildern gemessenen Tiefen
der a/k-Grenzschichten auf, so erhält man z.B. für die 300keV Implantation
die Abbildung 5.2. Aus diesen Kurven läßt sich jene
Implantationsdosis ablesen, die benötigt wird, um einkristallines
Silizium in einer bestimmten Entfernung von der Wafer-Oberfläche zu
amorphisieren. Die Substrattemperatur T fungiert dabei als Parameter für
die Kurvenschar.
Abbildung 5.2: Beziehung zwischen Implantationsdosis D und
der Lage der a/k-Grenzschichten. Diese Kurven entstanden durch
Auswertung der X-TEM Bilder für Implantationen mit 300keV-Si-Ionen
bei Temperaturen zwischen 82 und 296. Implantiert man z.B. mit
einer Dosis
so entsteht bei einer Temperatur von 197
eine
vergrabene amorphe Schicht.
Drei Eigenschaften des Amorphisierungsvorganges lassen sich aus diesen Verläufen sofort ableiten:
Implantiert man nun z.B. mit einer Dosis (siehe Abbildung 5.2)
so entsteht bei
eine vergrabene amorphe Schicht und diese
entscheidet maßgeblich über die Kategorie der sekundären Defekte.