Abbildung 6.2: Vergleich des Simulationsergebnisses mit der SIMS\
Messung. Die durchgezogene Linie repräsentiert das Histogramm der
Monte Carlo Simulation, die punktierte Linie und die Symbole kennzeichnen
die experimentellen Daten.
Abbildung 6.3: Simulation einer Punktantwort mit 40keV-Bor-Ionen und die daraus
resultierende Bor-Konzentration in [cm-3].
Abbildung 6.4: Simulation einer Punktantwort mit 40keV-Bor-Ionen und die daraus
resultierende Silizium-Interstitial-Konzentration in cm[-3].