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Bor-Implantation mit 40keV
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6.3 Simulation von Punktantworten
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Randbedingungen für die Simulation
6.3.2 Vergleich zwischen
SIMS
Messungen und Simulation
Bor-Implantation mit 40keV
Bor-Implantation mit 280keV
-Implantation mit 40keV
Phosphor-Implantation mit 50keV
Arsen-Implantation mit 50keV
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Mon Dec 23 13:09:21 MET 1996