Geht man von einem konkreten Anwendungsbeispiel aus, so muß die Anzahl der
Teilchentrajektorien so gewählt werden, daß die statistischen Schwankungen
der Verteilung für die relevanten Konzentrationsbereiche (z.B. drei
Größenordnungen) hinreichend klein sind. Normalerweise findet man bei
Dotierstoffprofilen mit einer relativen Fehlerschranke von fünf bis zehn
Prozent das Auslangen, denn daraus resultiert ein Abweichung von ca.\
% in der örtlichen Verteilung.