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4.4.1 Energiekriterium

 

Eine Möglichkeit zur Selektion besteht darin, die aktuelle Energie tex2html_wrap_inline12759 des Ions heranzuziehen, und diese mit der Initialenergie tex2html_wrap_inline12657 ins Verhältnis zu setzen:


equation5960
und


 equation5964
mit tex2html_wrap_inline12763 als Schwellwert der skalierten Energie. Dadurch läßt sich sehr einfach feststellen, ob ein Ion bereits einen Großteil seiner Energie (z.B.\ 70%, tex2html_wrap_inline12765) an das Target abgegeben hat, und man kann daraus schließen, daß es sich möglicherweise in einem peripheren Bereich befindet.

Mit dieser Methode wird aber prinzipiell jedes Ion selektiertgif, und daher muß bei der Wahl der Aufteilungspunkte besonders auf die Bewegungsrichtung des Ions geachtet werden. Nur wenn es sich in Richtung fallender Dotierstoffkonzentrationen bewegt, soll die Trajektorie in mehrere virtuelle Zweige aufgeteilt werden (Konzentrationsgradientenkriterium, siehe Kapitel 4.5.1).



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