Verwendet man das reine Energiekriterium aus Kapitel 4.4.1, so werden alle Ionenbahnen an einem nicht näher festgelegten Ort mindestens einmal geteilt. Um die Recheneffizienz dennoch steigern zu können, muß beim Aufteilen vor allem der Bewegungsrichtung des Ions relativ zur Dotierstoffkonzentration großer Wert beigemessen werden.
Dazu ermittelt man bei jeder Trajektorie die momentane, lokale Dotierungskonzentration an bestimmten Punkten (Check-Points) und setzt diese mit der momentanen, maximalen Konzentration durch Berechnung von
ins Verhältnis. Das Ergebnis wird anschließend vorgegebenen, relativen
Konzentrationsbereichen (Levels) zugeordnet (z.B. kann man
deren zehn zu
definieren).
Nur wenn das Teilchen von einem größeren in einen kleineren Konzentrationsbereich wechselt (Index i von L wird größer),
wird an diesem Check-Point eine neue, virtuelle Trajektorie gestartet
(Split-Point).
Mit anderen Worten: die untersuchte Ionenbahn muß in etwa in Gegenrichtung des Konzentrationsgradienten verlaufen.