next up previous contents
Next: 60keV-Arsen-Implantation Up: Einige ausgewählte Punktantworten Previous: 25keV-Arsen-Implantation

40keV-Arsen-Implantation

  figure5705
Abbildung 4.54: Simulation einer Punktantwort auf konventionelle Art mit 5.000 40keV-Arsen-Ionen.

  figure5710
Abbildung 4.55: Simulation einer Punktantwort mit Hilfe der Trajectory-Split Methode und 5.000 40keV-Arsen-Ionen.

  figure5715
Abbildung 4.56: Simulation einer Referenzverteilung auf konventionelle Art mit 1.000.000 40keV-Arsen-Ionen.

  figure5720
Abbildung 4.57: Fehlerverlaeufe tex2html_wrap_inline12741 als Funktion der relativen Konzentration tex2html_wrap_inline12939 für 40keV-Arsen. Q wurde in diesem Fall um einen Faktor tex2html_wrap_inline13063 verkleinert. Durchgezogene Linien: 5.000 Ionen, strichlierte Linie: 40.000 Ionen.



IUE WWW server
Mon Dec 23 13:09:21 MET 1996