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60keV-Arsen-Implantation

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Abbildung 4.58: Simulation einer Punktantwort auf konventionelle Art mit 5.000 60keV-Arsen-Ionen.

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Abbildung 4.59: Simulation einer Punktantwort mit Hilfe der Trajectory-Split Methode und 5.000 60keV-Arsen-Ionen.

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Abbildung 4.60: Simulation einer Referenzverteilung auf konventionelle Art mit 1.000.000 60keV-Arsen-Ionen.

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Abbildung 4.61: Fehlerverlaeufe tex2html_wrap_inline12741 als Funktion der relativen Konzentration tex2html_wrap_inline12939 fuer 60keV-Arsen. Q wurde in diesem Fall um einen Faktor tex2html_wrap_inline13075 verkleinert. Durchgezogene Linien: 5.000 Ionen, strichlierte Linie: 40.000 Ionen.



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