Die Wärmekapazität kann als Produkt der spezifischen Massendichte
und der spezifischen Wärme 
dargestellt werden [168]:
Die Temperaturabhängigkeit von 
und ist
vernachlässigbar.
Der Wert von in Silizium beträgt 
.
Der Betrag der spezifischen Massendichte von Silizium ist
[168].
Für Siliziumdioxid gelten folgende Werte:
,
.
