Die Wärmekapazität kann als Produkt der spezifischen Massendichte
und der spezifischen Wärme
dargestellt werden [168]:
Die Temperaturabhängigkeit von und
ist
vernachlässigbar.
Der Wert von
in Silizium beträgt
.
Der Betrag der spezifischen Massendichte
von Silizium ist
[168].
Für Siliziumdioxid gelten folgende Werte:
,
.