4.4.2 Einfluß der Substratdotierung <IMG ALIGN=BOTTOM SRC="_14034_tex2html_wrap12780.gif">



next up previous contents
Next: 4.4.3 Einfluß von Up: 4.4 CP-Effekt am Backinterface Previous: 4.4.1 CP-Einsatz- und CP-Flachbandspannung

4.4.2 Einfluß der Substratdotierung

Der Grad der Potentialkopplung zwischen Front- und Backinterface ist stark von der homogene Substratdotierung abhängig. Existiert eine solche Potentialkopplung, so werden die Störstellen am Backinterface gemeinsam mit denen des Frontinterface umgeladen. Das CP-Signal des Backinterface tritt additiv zum CP-Signal des Frontinterface hinzu, und es entsteht eine ausgeprägte Spitze in der -Kurve. Die Differenz dieses Spitzenwertes von gegen das Plateau, welches das CP-Signal des Frontinterface darstellt, ist proportional zum Streifen des verbotenen Bandes , der - unter Berücksichtigung der von abhängigen Emissionsverluste - aufgrund der Grenzflächen-Potentialvariation am Backinterface überstrichen wird.
Im unteren Teil der Abbildung 4.8 sind die Simulationen von CP-Signalen eines solchen Experimentes für drei verschiedene Werte der Substrat-Dotierung wiedergegeben. Der Wert nimmt mit steigender Substratdotierung ab und die dazugehörige Abszisse rückt zu steigenden Werten der Backgate-Spannung. Die Abszissenlage des Maximums ist andererseits stark abhängig vom Wert einer eventuellen fixierten Oxidladung am Backinterface. Ein zusätzlicher Freiheitsgrad ist durch den Typ der Störstellen gegeben. Im allgemeinen kann eine Kombination von donator- und akzeptorartigen Störstellen sowie eine fixierte Oxidladung vorliegen. Bei den Simulationen gemäß Abbildung 4.8 wurden akzeptorartige Störstellen und eine verschwindende Dichte fixierter Oxidladungen angenommen.

  
Abbildung: Experiment und Simulation von in Abhängigkeit von für verschiedene Werte von der Frontgate-Spannung (oberes Bild, experimentelle Kurven punktiert). Im unteren Teil sind die Stationärwerte von am Backinterface für die Spitzenwerte von () gegeben. Die Abszissenlage des Maximums von korrespondiert gut mit der symmetrischen Lage der beiden bezüglich (vertikal strichliert markiert).



Martin Stiftinger
Fri Oct 14 21:33:54 MET 1994