Einblick in den Mechanismus der Potentialkopplung zwischen
Front- und Backinterface wird durch ein CP-Experiment
mit variabler Backgate-Spannung gewonnen.
Das CP-Experiment wird in gewohnter
Weise durch Pulsung der Frontgate-Spannung durchgeführt,
wobei die Backgate-Spannung als Parameter einen
um Null Volt symmetrischen Spannungsbereich durchläuft.
Dieser Bereich reicht aus, um an beiden Enden (
=
)
das Backinterface stark zu akkumulieren bzw. zu invertieren.
Durch die elektrostatische Abschirmung wird die
Potentialkopplung so stark abgeschwächt, daß kein CP-Effekt
am Backinterface auftritt. Das CP-Signal setzt sich nur mehr
aus dem Grenzflächen-Ladungspumpstrom des Frontinterface
zusammen.
Im dazwischenliegenden Spannungsbereich befindet sich das
Backinterface in schwacher Akkumulation bzw. Inversion
und in Depletion. In diesen Bereichen existiert eine
Potentialkopplung zwischen beiden Grenzflächen.
Das bedeutet, daß jede Änderung des Grenzflächen-Potentials
auf dem Frontinterface eine abgeschwächte Änderung
am Backinterface verursacht.
