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4.4.4 Einfluß von

 

Das CP-Experiment mit variablen Steig- und Fallzeiten der Gate-Spannung wird zur Profilierung der Störstellen-Verteilung im verbotenen Band benutzt (Abschnitt 4.3.3 bzw. [34]). In der Abbildung 4.9 sind Meß- und Simulationsergebnisse für -Dioden mit der geometrischen Kanallänge = gegeben. Eventuelle parasitäre dimensionale Effekte (siehe Abschnitt 4.5 und 4.5.3) treten bei dieser Kanallänge noch nicht auf. Wie in den vorhergehenden Unterabschnitten wurde eine kleine mittlere Störstellendichte von = am Backinterface angenommen. Das obere Bild zeigt die Resultate für drei verschiedene Werte von . Die Übereinstimmung von Experiment und Simulation ist nur für die langen akzeptabel. Während für kurze die simulierten Kurven ein reguläres Bild zeigen - im gesamten Bereich von vergrößern sich die -Werte gleichförmig - zeigen die experimentellen Werte im Gegensatz zu den simulierten ein bezüglich = unsymmetrisches Verhalten. Der massive Anstieg von in der rechten Hälfte des Bildes kann mit dem in dieser Arbeit verwendeten Parametersatz nicht beschrieben werden.


Martin Stiftinger
Fri Oct 14 21:33:54 MET 1994