Das Lösen der gekoppelten nichtlinearen Halbleitergleichungen stellt hohe Anforderungen an die numerischen Verfahren. Um ein konvergentes Iterationsverfahren für allgemeine Bauelemente zu erhalten, sind eine Reihe von Maßnahmen nötig [18,59,61]. Sie reichen von speziellen für die Halbleitersimulation entwickelten Gleichungslösern über Diskretisierungsverfahren, Variablentransformationen bis hin zu einer bestimmten Lösungsreihenfolge der Teilgleichungssysteme.
Einen wichtigen Punkt spielt dabei die Skalierung der Lösungsvariablen.