All denen, die zum Gelingen der vorliegenden Arbeit beigetragen haben, möchte ich hiermit herzlich danken.
An erster Stelle gilt dieser Dank meinem Doktorvater Prof. Dr. Siegfried Selberherr, der diese Dissertation ermöglicht hat, sowohl für die fachliche Betreuung als auch die erstklassigen Arbeitsbedingungen, für die das Institut für Mikroelektronik bekannt ist. Er sorgte für die Rechnerausstattung, die für die numerische Simulation unabdingbar ist, und gab mir die Gelegenheit zur Präsentation meiner Ergebnisse auf internationalen wissenschaftlichen Konferenzen.
Ohne die finanzielle Unterstützung der SIEMENS AG wäre diese Arbeit ebenfalls undenkbar gewesen. Daher möchte ich an dieser Stelle meinen Dank an die zuständigen Herren der Zentralabteilung Forschung und Entwicklung in München ausdrücken.
Von meinen Kollegen möchte ich diejenigen herausgreifen, denen ich besonderen Dank schulde. Allen voran ist dies Dr. Hans Kosina, der viel zur Vertiefung meines Verständnisses der Halbleiterphysik beigetragen hat. Er bewies viel Ausdauer bei der Korrektur dieser Dissertation und war immer ein angenehmer Zimmerkollege. Goran Kaiblinger-Grujin danke ich nicht nur für die fachliche Unterstützung durch seine hervorragende Beherrschung der Physik der Störstellenstreuung, sondern auch für die vielen Stunden voller anregender Diskussionen weit über das Fachliche hinaus. Hervorheben möchte ich noch die Doktoren Claus Fischer, Thomas Simlinger und Christoph Pichler, deren Gesellschaft ebenfalls meinen Horizont beträchtlich erweiterte. Schließlich möchte ich noch meine Zimmerkollegen Dr. Martin Stiftinger und Christian Troger nennen, die mich in all den Jahren mit Rat und Tat begleiteten.
Einblick in die Praxis der III-V Technologie insbesonders des HFET ermöglichte mir so mancher Besuch der Abteilung ZFE ST KM 5 der Firma SIEMENS in München. Deren Mitarbeitern, im speziellen dem Leiter, Dr. Walter Kellner, danke ich herzlich.
Einen interessanten Studienaufenthalt verdanke ich der Firma LSI Logic Corporation in Santa Clara, Kalifornien. Er gab mir wertvolle Anregungen für die industriellen Aspekte der computergestützten Technologieentwicklung. Speziell Dr. Lindor Henrickson und Dr. Sheldon Aronowitz, dem Leiter der ``Process and Device Simulation Group'' bin ich zu Dank verpflichtet.
Abschließend möchte ich mich noch bei Prof. Dr. Erich Gornik für seine Bereitschaft zur Begutachtung dieser Arbeit bedanken.
Schlußendlich gilt mein letzter aufrichtiger Dank meiner Familie, vor allem meinen Eltern, die mich durch alle Höhen und Tiefen während meines Studiums in allen Belangen vorbehaltlos unterstützt haben.