2.4.3 Speicherfähige Grenzflächen

Für manche Kombinationen von Atomen und Grenzflächen existieren an der Grenzfläche energetisch begünstigte Stellen, an denen sich die betreffenden Atome festsetzen können. In diesem Fall hat die Grenzfläche eine gewisse Speicherfähigkeit. Die Anzahl $C_{\mathrm {int}}$ der belegten Plätze ist durch

$${\frac{\partial{C_{\mathrm {int}}}}{\partial{t}}}=k_s\left(C_{\mathrm {int}} - \frac{C_i}{C_i^*}\right)$$ (2.23)

gegeben, worin k_s der Reaktionsgeschwindigkeit, C_i der Konzentration und C_i^* der Gleichgewichtskonzentration im Silizium entspricht [Orl89].

Diese Art der Randbedingung erfordert also die Berücksichtigung einer eigenen Größe $C_{\mathrm {int}}$ für die Grenzschichtkonzentration.