In diesem Kapitel wurde eine neue Methode zur automatischen Gittergeneration und -adaption für die Simulation der Ionen-Implantation mittels der Monte-Carlo Technik präsentiert. Dieser Algorithmus wurde in das Modul zur Simulation der Ionen-Implantation basierend auf der Monte-Carlo Methode des Prozeßsimulators PROMIS eingebaut. Im Gegensatz zu den Gitteradaptionsalgorithmen in den Simulationsmodulen für die Diffusion und die analytische Ionen-Implantation müssen für die Monte-Carlo Ionen-Implantation noch spezielle Überlegungen angestellt werden. So ist es nicht möglich, Gitterlinien nachträglich einzufügen, und es muß besonders auf das Größenverhältnis benachbarter Gitterzellen geachtet werden.
Es zeigt sich, daß diese Gitteradaptionsmethode trotz der der
Monte-Carlo Methode innewohnenden statistischen Schwankungen in
den Konzentrationsprofilen ein absolut zufriedenstellendes Gitter
erzeugt. Außerdem wird der Speicherbedarf rigoros reduziert, weil
nur Histogrammboxen gespeichert werden, die zumindest ein Teilchen
enthalten (das heißt also: B(
) 
0).