6 Anwendungen

• 6.1 Ionenstrahlätzen unter Berücksichtigung der Redeposition geätzten Materials
• 6.2 Plasmaunterstütztes Ätzen tiefer Gräben
• 6.3 Untersuchung der Stufenbedeckung bei Sputter-Depositionen
• 6.4 Strukturierung und Beschichtung eines Kontaktloches
• 6.5 Simulation des Herstellungsprozesses einer Speicherkapazität