D I S S E R T A T I O N

Simulation von Topographieprozessen
in der Halbleiterfertigung

ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften
eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik

von

Ernst Strasser

Bellariastraße 12/5
A-1010 Wien
Matr. Nr. 8525098
geboren am 5. Juli 1966 in Salzburg

Wien, im November 1994