Aufgabe der Modellierung ist auch hier, die am betrachteten Oberflächenpunkt gültigen Depositionsraten zu berechnen. Dabei spielen wieder geometrische Überlegungen eine große Rolle. Vor allem die Sichtbarkeit eines Oberflächenpunktes bestimmt in entscheidendem Maße die resultierende Wachstumsrate. Die Oberflächenorientierung ist von untergeordneter Bedeutung, wenn man von der Redeposition einfallender Teilchen absieht.
Für die Berechnung der Depositionsraten werden, wie schon bei der Modellierung der Ätzverfahren, makroskopische Prozeßmodelle verwendet, die Annahmen über die Flußverteilungen einfallender Teilchen in Oberflächengeschwindigkeiten umwandeln. Die Charakteristik des jeweiligen Depositionsverfahrens geht über die angenommene Verteilungsfunktion in die Modellierung ein. Im Gegensatz zu makroskopischen Modellen berechnen ballistische Methoden die Trajektorien zufällig verteilt startender und einfallender Teilchen und erhalten über die resultierende Teilchenkonzentration die neue Geometrie [Wes89], [Smy89], [Ike89], [Dew91]. Diese Vorgehensweise hat den Vorteil, daß sie auch Information über die Mikrostruktur der deponierten Materialschicht liefert, die gerade im Falle der Deposition für manche Anwendungen von großem Interesse ist. Da die Rechenzeiten bei diesem Verfahren im allgemeinen jedoch sehr hoch sind, ist der Einsatz auf wenige zweidimensionale Anwendungen beschränkt geblieben.