Die entlang der Oberfläche auftretenden Ätz- und Depositionsraten hängen im allgemeinen stark von der aktuellen Geometrie sowie den für das jeweilige Verfahren angewandten Prozeßbedingungen ab. Ziel der Modellierung ist die Entwicklung analytischer Prozeßmodelle, die diese Ätz- und Depositionsraten aus Annahmen über Flußverteilungen einfallender Teilchen und die damit verbundenen Oberflächenreaktionen berechnen. Alle physikalischen, aus Beobachtungen oder Messungen gewonnenen Erkenntnisse gehen auf diese Weise in das Ergebnis der Topographiesimulation ein.