Für die Simulation von Ätz- und Depositionsverfahren berechnen sich Oberflächenraten im allgemeinen aus makroskopischen Prozeßmodellen, die Annahmen über Verteilungsfunktionen einfallender Teilchen und die damit verbundenen Oberflächenreaktionen in Geschwindigkeitsverteilungen entlang der Oberfläche umwandeln. In diesem Abschnitt werden die Ätz- und Depositionsraten entweder als konstant angenommen oder als analytische Funktion des Ortes vorgegeben, um damit, an Hand einiger charakteristischer Beispiele, die praktische Verwendbarkeit des Topographiesimulationsverfahrens zu überprüfen. Die vorgegebenen Ätz- und Depositionsraten gelten ausschließlich innerhalb des Simulationsgebietes, ausserhalb sind sie Null.