Der Cell-Removal-Algorithmus läßt sich ohne zusätzliche Schwierigkeiten auf die dreidimensionale Simulation erweitern. Anstatt rechteckiger Zellen werden in der dreidimensionalen Simulation nun regelmäßige Prismen mit rechteckiger Grundfläche oder Würfel benutzt. Die Zeit, die benötigt wird, um eine Zelle zu entfernen, wird wie im zweidimensionalen Fall in Abhängigkeit der lokal vorhandenen Ätzrate sowie der Anzahl der freiliegenden Zellseiten berechnet. Gleichungen für die Berechnung der benötigten Ätzzeit, um eine Zelle zu entfernen, können aus [Hir91] entnommen werden. Einer der wesentlichen Vorteile des Cell-Removal-Algorithmus, der vor allem in der dreidimensionalen Simulation voll zu Tragen kommt, ist die Stabilität des Algorithmus. Das Problem der Oberflächen-Loops, das sowohl beim String-Algorithmus als auch beim Ray-Trace-Algorithmus eine wesentliche Rolle bei der Erweiterung auf die dreidimensionale Simulation spielt, tritt hier nicht auf. Durch das Entfernen jener Zellen aus dem Simulationsgebiet, die bereits vollständig geätzt wurden, wird das Entstehen der Oberflächen-Loops inhärent vermieden. Allerdings bleiben auch die Nachteile des Algorithmus nach wie vor bestehen. Vor allem die Bevorzugung bestimmter Ausbreitungsrichtungen schränkt die Verwendung des Algorithmus für generelle Topographieprozesse erheblich ein.