Topographiesimulation beginnt mit der grundsätzlichen Information über die aktuelle Geometrie und die gültigen Prozeßbedingungen (Abbildung 1.1). Über diese Information können makroskopische Prozeßmodelle ausgewertet und Oberflächengeschwindigkeiten errechnet werden, die an diskreten Punkten der Oberfläche die Geometrieänderung für einen betrachteten Zeitabschnitt beschreiben.
Abbildung 1.1: Ein einfaches Informationsmodell für die Topographiesimulation
Sie werden entsprechend dem simulierten Verfahren meist als Ätz- bzw. Depositionsraten bezeichnet. Für die Darstellung der Geometrieinformation werden von den Topographiesimulatoren unterschiedlichste Beschreibungsformen verwendet. Eine Möglichkeit besteht darin, den Rand der Geometrie, so wie hier gezeigt, durch eine Aneinanderreihung von Punkten, die durch Geradenstücke verbunden werden, zu approximieren. Abhängig von der verwendeten Materialrepräsentation kommen verschiedenste Algorithmen zum Einsatz, die über die berechnete Rateninformation eine Bewegung der Oberfläche und damit eine Veränderung der Geometrie bewirken. Die Bewegung erfolgt dabei für einen betrachteten Zeitabschnitt, der auch als Zeitschritt bezeichnet wird, mit ermittelter konstanter Oberflächengeschwindigkeit. Über die neue Topographieinformation werden im Anschluß die Ratenmodelle ausgewertet, und die Bewegung der Oberfläche für den nächsten Zeitschritt durchgeführt. Dieser Zyklus wird beendet, sobald die Summe der Zeitschritte der vorgegebenen Simulationszeit entspricht.