Der Algorithmus enthält zwei mögliche Fehlerquellen. Beide sind ursächlich mit der Diskretisierung der Geometrie durch Materialzellen verbunden.
Umfaßt das strukturierende Element nicht genügend Materialzellen, so wird die Form des strukturierenden Elements nur schlecht von der zellulären Struktur aufgelöst. Der dadurch entstehende Positionsfehler der sich bewegenden Oberfläche kann sich fortplanzen und dadurch die nachfolgende Simulation beeinflussen.
Werden die Abmessungen des strukturierenden Elements in manchen Bereichen der Geometrie sogar so klein, daß die nächste Material- oder Vakuumzelle vom strukturierenden Element nicht erfaßt wird, so bleibt die Oberfläche in diesen Bereichen unbewegt, unabhängig davon, wie groß die Ätz- oder Depositionszeit ist.
Beide Fehler verschwinden für eine theoretisch unendlich hohe Anzahl von Materialzellen im Simulationsgebiet. Für die praktische Simulation kann mit einer Zeitschrittsteuerung (Abschnitt 3.4) dafür gesorgt werden, daß das strukturierende Element stets eine Mindestanzahl an Materialzellen umfaßt.
Abbildung 3.22: Vorgegebene Ätzratenfunktion.
Abbildung 3.23: Isotropes Ätzen unter Vorgabe der Ätzratenfunktion
nach obiger Abbildung.